↑ Вернуться: Оборудование

Автоэмиссионный электронный микроскоп TESCAN MIRA 3 LMU

microscop_miraАвтоэмиссионный электронный микроскоп TESCAN MIRA 3 LMU (TESCAN, Чехия) позволяет  получить изображения изображение поверхности исследуемого объекта с  высоким разрешением, особенно при низких ускоряющих напряжениях.

Технические характеристики MIRA 3 LMU:

  • Источник электронов – Катод Шоттки высокой яркости для получения изображений высокого разрешения, высокой контрастности, с низким уровнем шумов
  • Разрешение (In-Beam SE) – 1 нм при 30 кВ и 2 нм при 3 кВ
  • Разрешение (SE типа ET) – 1.2 нм при 30 кВ и 2.5 нм при 3 кВ
  • Разрешение в режиме низкого вакуума (LVSTD) – 1.5 нм при 30 кВ и 3 нм при 3 кВ
  • Увеличение – от ×4 до ×1 000 000 раз
  • Ускоряющее напряжение – от 200 В до 30 кВ
  • Ток пучка электронов – от 2 пА до 100 нА
  • В режиме высокого вакуума – < 10-2 Па
  • В режиме низкого вакуума (LMU) – 7–150 Па
  • Оборудован системой рентгеновского энергодисперсионного микроанализа Oxford Instruments INCA Energy 350 X-max 80 с безазотным детектором X-max 80 Standart (кремний-дрейфовый детектирующий элемент активной площадью 80 мм2; разрешение на линии Mn Kα — 127 эВ)
  • Оборудован системой для исследования дифракции обратнорассеянных электронов INCA Synergy Premium c детектором Nordlys II F+ EBSD HKL Ch5 в комплекте. Включает систему детектирования прямо/обратно рассеянных электронов с четырьмя п/п диодами, интегрированная в детектор Nordlys II F+